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      控溫勻膠機(jī)

      簡要描述:實(shí)驗(yàn)室加熱型勻膠機(jī)。光刻膠等均勻涂布在晶圓上的裝置,一種納米膜噴涂設(shè)備。

      • 產(chǎn)品型號:IC5000
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新日期:2026-01-14
      • 訪  問  量:2991

      產(chǎn)品參數(shù):
      1.轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍:室溫-150℃
      2.溫度分辨率:0.1℃
      3.控溫精度:<±0.5℃(穩(wěn)定后控溫精度)
      4.轉(zhuǎn)盤溫度均勻性:<±2%
      5.轉(zhuǎn)速范圍:100-5000rpm
      6.轉(zhuǎn)速分辨率:±1rpm
      7.加速度可調(diào)范圍:100-5000rpm/s
      8.最大單步旋涂時長:3000s
      9.時間分辨率:0.1s
      10.最多可編程100組100步程序,更多可擴(kuò)展
      11.標(biāo)配可調(diào)卡爪載物盤(10-30mm方片或圓片可調(diào)),其他規(guī)格可定制
      12.外型尺寸:280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)


      IC5000控溫勻膠機(jī)是一款高性能實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī),采用了*進(jìn)的設(shè)計理念,配合精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作,并配有控溫系統(tǒng),控溫均勻性好,可實(shí)現(xiàn)邊加熱邊勻膠功能,操作界面可存貯10組程序,每組程序可達(dá)10步。運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動時間可實(shí)時顯示。


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